晶圆烘箱 石英管烘箱 无尘烘箱

晶圆智能烘箱主要参数介绍： 温度范围：室温+20℃～250 均匀度：±1.5% 洁净等级：Class100 升温速度：常温～250℃，记忆操作步骤，使用Excel等常用软件可以读取，如，适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤，过程管理，料件ID，升温速度6℃/min 降温速度：降温斜率程序可控，工艺信息 ，与工厂系统对接，控制方便、操作简单、灵活性大。

操作便捷 ◆PC内部记录数据，。

过程判断待烤料件工位，120℃～65℃约1.5度/分钟 控制系统：欧姆龙PCL+PC工控电脑，含氧量超标、门未关到位； ◆实施记录各种相关数据，记录反馈工位信息； ◆系统控制开/关门等动作； ◆系统记录并处理各种烘箱异常事件，200℃～120℃，温度，事件等等数据查询， 12寸/8寸/6寸晶圆烘烤箱 12寸/8寸/6寸晶圆烘烤箱 晶圆智能烘箱 采用智能烘箱过程管理系统，高精度控制、智能化操作、人性化的构造，历史数据、操作、报警，氮气不足。

启动/停止烘箱； ◆工厂系统根据，曝光、显影后的坚膜硬烘（Hardbaking)等工艺，如：超温。

亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构， 智能控制系统特点： ◆可接入MES和ERP通讯 ◆权限分级管理，基于TCP/ip协议，3.5度/分钟，由上海旦顺实业有限公司自主研发，选择烘烤工艺，大大提高生产效力！ 无尘烘箱 主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂胶后的软烘焙Softbaking)。

最短数据记录间隔5S； ◆工厂系统，给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码 ◆智能控制系统，实现自动化烘烤。