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为什么加endcap cell?

发布时间:2026-10-05网络技术次评论
endcap cell一般放置在 row的两端、最上面和最下面的row 形成end-cap ring。围绕在 core area、placement blockage和hardmacros 周围。 为什么加encap cell? 查了资料看到有两种说法: 1.减小 PSE(Poly

参考文献: 1.innovus UG 2.《Electrical Variability due to Layout Dependent Effects: Analysis,管子A和B的 掺杂 浓度、受到周围poly的应力等 不完全一致, OSE : 由于OD的 应力作用 对晶体管电学性能产生的影响 ,导致管子A和管子B的 电学参数 不一样,也就是要保证管子A和管子B的制造环境尽量一致, and Mitigation on 40 and 28nm SOC Designs》 3.《 Layout-Dependent Proximity Effects 》 , 为什么加encap cell? 查了资料看到有两种说法: 1.减小 PSE(Poly Spacing Effect) 和 OSE(OD Spacing Effect) 的影响; 2.对于多个nwell的设计,为了保证管子A和管子B的电学参数一致, PSE(Poly Spacing Effect) 首先来看PSE(Poly Spacing Effect),所以在row的end要加endcap(这一点我不是很理解), endcap cell一般放置在 row的两端、最上面和最下面的row 形成end-cap ring,在进行 光刻、离子注入、刻蚀 时,由于管子A和管子B 周围的环境 不一致。

所以 需要给晶体管周围加dummy poly和OD。

如下图第一张。

围绕在 core area、placement blockage和hardmacros 周围, 饱和电流Idsat是晶体管驱动能力的指标 , 饱和电流Idsat是晶体管驱动能力的指标 , 保证一片区域边界晶体管的电学性能和中间晶体管的一致,多余的poly主要是为了减少PSE的影响,第二张比第一张多了额外的OD(绿色区域)和poly(红色部分), PSE : 由于Poly的间距原因导致晶体管的性能不一致现象,所以给管子B周围 加dummy 管C (一般40nm以下pdk里会自带dummy管) ,这就是需要在开篇提到那些地方加endcap cell的原因, O SE(ODSpacing Effect) 如下图所示,要确保每个nwell都是nwell-enclosed, 下面所示为28nm O SE对晶体管饱和电流 的 影响, 下面所示为28nm PSE对晶体管饱和电流的影响, Quantification,多余的OD就主要是为了减少OSE对器件性能的影响, 总结 由于PSE和OSE对晶体管的电学性能的影响(应力对电学性能的影响下篇介绍)。

因为 阱电位 可能不一样,endcap cell主要就是提供dummy 的poly和OD(是不是可以打开endcap cell 的 gds看一看? ) ,。

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