前驱体材料

4，4-Tetrasilylpentasilane CAS号：1668602-96-7 纯度：≥98.0% 用途：在低温通过化学气相沉积（CVD）快速形成外延硅和多晶硅 ，。

2， 中文名：2，2，4。

4-四甲硅烷基戊硅烷 英文名：2。